Halbleiter und Prozesstechnik

Präzise Abdichtung

Halbleiter, Flachbildschirme und Solar, Abscheidung, Ätzen, Beschichten, Plasma und thermische Bearbeitung oder Glühen sind nur einige Verarbeitungsverfahren, welche in chemischen Umgebungen stattfinden. Diese Anwendungen sind für die eingesetzten Elastomer-Dichtungsmaterialien sehr anspruchsvoll. Weitere Beispiele sind u. a. integrierte Halbleiterschaltungen, Flachbildschirme, Solarzellen, MEMS (mikroelektromechanische Systeme) oder LED/OLED.

Die eingesetzten Elastomerwerkstoffe richten sich nach den verwendeten Prozesschemikalien, der Temperatur, der spezifischen Montageteilposition, Nähe zum Substrat, dem gefertigten Gerätetyp und dem Technologieknoten.